FFU вентиляторный фильтр HEPA с ламинарным потоком H14 из нержавеющей стали для фильтрации воздуха в чистых помещениях

Обзор продукта

Поддержание чистого от частиц воздуха в контролируемой среде требует большего, чем просто хороший фильтр — оно требует постоянного, однонаправленного воздушного потока. Вентиляторный фильтр ZJNF с ламинарным потоком обеспечивает именно это. Работающий от HEPA-фильтра H14 с эффективностью 99,99% для частиц размером 0,3 мкм, этот блок генерирует параллельные потоки воздуха, которые уносят загрязнители из критической рабочей зоны. Доступный в четырех размерах (2×2, 3×2, 4×2 и 4×4), он обеспечивает поток воздуха от 400 до 1700 м³/ч, охватывая все: от одной рабочей станции до полной потолочной сетки.

Технические характеристики

Ключевые преимущества

Параллельный поток воздуха снижает перекрестное загрязнение

В отличие от турбулентных систем ОВКВ, которые рециркулируют частицы, переносимые по воздуху, FFU с ламинарным потоком перемещает воздух в одном направлении. Это важно в литографии полупроводников, где даже одна случайная частица может уничтожить всю партию пластин. Схема параллельного потока поддерживает низкое и постоянное количество частиц в диапазоне ISO класса 5–7.

Корпус из нержавеющей стали для агрессивных сред

Фармацевтические чистые помещения и зоны химической обработки часто используют агрессивные чистящие средства. Нержавеющая сталь SUS304 гораздо лучше, чем сталь с порошковым покрытием, противостоит коррозии от частых протираний и воздействия влаги, которая обычно проявляет ржавчину на сварных швах в течение 12 месяцев.

Замена фильтра со стороны помещения сокращает время простоя

Когда требуется замена HEPA-фильтра — обычно каждые 2–3 года — обслуживающий персонал может заменить его снизу, не входя в потолочный короб. Это само по себе экономит 2–4 часа простоя на единицу по сравнению с конструкциями с доступом сверху.

Применение

Заводы по производству полупроводников используют FFU с ламинарным потоком для поддержания среды класса ISO 5 над оборудованием для фотолитографии. Фармацевтические линии розлива полагаются на них для обеспечения соответствия стерильных зон нормам GMP по содержанию частиц. Медицинские учреждения устанавливают их в операционных и изоляционных комнатах с положительным давлением. Мастерские по сборке прецизионной оптики и MEMS полагаются на ту же технологию FFU с ламинарным потоком для защиты чувствительных компонентов от оседания пыли.

Почему это работает

Вентиляторный фильтр ZJNF с ламинарным потоком поставляется как полностью интегрированный модуль — вентилятор, двигатель и HEPA-фильтр предварительно собраны. Установка заключается в том, чтобы поместить его в потолочную Т-образную сетку, подключить питание и включить. Никаких внешних воздуховодов, никакой отдельной вентиляционной камеры. Трехскоростное управление позволяет операторам регулировать поток воздуха в соответствии с текущими требованиями к чистоте, а не работать на полную мощность круглосуточно. Нержавеющая сталь SUS304 и сертификация CE делают этот FFU с ламинарным потоком очевидным выбором для предприятий, которым необходимо без проблем проходить аудиты регулирующих органов.